SMC工艺气体用元件

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。
・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。
・接触气体部分经过电解研磨处理。
・外部金属密封构造。

・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
・主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
・可作为气体的切断阀使用。
・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。

・用于精密洗净及洁净室组装。
・全部产品均经过了氦气泄漏检测。
・符合SEMI规格
・采用方便作业的锻造主体。

［单向阀］
・防止背压使流体逆流。
・构造简单，内部的可动零部件仅为O形圈。
・采用无弹簧的构造，可减少因震颤等产生的颗粒，降低下游的压力变动。
［真空发生器］
・真空发生器。
・用于更换气罐时，排出配管中残余的气体。
［流量开关］
・检测配管破裂等造成的过剩流量。

・全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。
・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
・可用于精密洗净。
・降低执行器的高度，实现产品的小型、轻量化（AK3542, 4542）。
・操做通口为M5螺纹（AK3542, 4542）。
・手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化（AK3652, 4652）。
・采用有凹凸的圆形手轮，更便于操作和确认（AK3652, 4652）。

・从半导体到一般行业均可使用的标准型。
・产品体型小、重量轻。
　质量：0.52kg、高：97.5mm。
・内部容积小，其体积存量少。
・配管扩展品
　可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。