SMC高真空阀

・采用铝制主体。
　受热升温均匀。
　重量轻、外形紧凑。
　放出气体少。
　重金属污染少。
・可更换波纹管。

・耐氟。
・放出气体量少。
・重金属污染少。

※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。
　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。

・快速拆装（无需工具）。

・无气体积留的精密遗体铸造结构。
・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。

注）直线型无尺寸16。

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
・有2种接头和内螺纹可选。
・消耗功率：最多削减25％。
・质量：最多减小18％　0.5kg→0.41kg。

・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。
・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。
・初始供气、主給気可同时进行流量调节。